पॉलिसिलिकॉन तयार करण्याची पद्धत.

1. लोड करत आहे

हीट एक्सचेंज टेबलवर कोटेड क्वार्ट्ज क्रुसिबल ठेवा, सिलिकॉन कच्चा माल घाला, नंतर हीटिंग उपकरणे, इन्सुलेशन उपकरणे आणि भट्टीचे आवरण स्थापित करा, भट्टीतील दाब 0.05-0.1mbar पर्यंत कमी करण्यासाठी आणि व्हॅक्यूम राखण्यासाठी भट्टी रिकामी करा. मुळात भट्टीमध्ये सुमारे 400-600mbar वर दाब ठेवण्यासाठी आर्गॉनचा संरक्षक वायू म्हणून परिचय करा.

2. गरम करणे

फर्नेस बॉडी गरम करण्यासाठी ग्रेफाइट हीटर वापरा, प्रथम ग्रेफाइट भाग, इन्सुलेशन लेयर, सिलिकॉन कच्चा माल इत्यादींच्या पृष्ठभागावर शोषलेल्या ओलावाचे बाष्पीभवन करा आणि नंतर क्वार्ट्ज क्रूसिबलचे तापमान सुमारे 1200-1300 पर्यंत पोहोचण्यासाठी हळूहळू गरम करा.℃. या प्रक्रियेस 4-5 तास लागतात.

3. वितळणे

मुळात भट्टीमध्ये सुमारे 400-600mbar वर दाब ठेवण्यासाठी आर्गॉनचा संरक्षक वायू म्हणून परिचय करा. क्रुसिबलमधील तापमान सुमारे 1500 पर्यंत अनुकूल करण्यासाठी हळूहळू हीटिंग पॉवर वाढवा℃, आणि सिलिकॉन कच्चा माल वितळण्यास सुरवात होते. सुमारे 1500 ठेवा℃वितळण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान वितळणे पूर्ण होईपर्यंत. या प्रक्रियेस सुमारे 20-22 तास लागतात.

4. क्रिस्टल वाढ

सिलिकॉन कच्चा माल वितळल्यानंतर, क्रूसिबलचे तापमान सुमारे 1420-1440 पर्यंत खाली येण्यासाठी गरम करण्याची शक्ती कमी केली जाते.℃, जो सिलिकॉनचा वितळणारा बिंदू आहे. मग क्वार्ट्ज क्रूसिबल हळूहळू खालच्या दिशेने सरकते किंवा इन्सुलेशन यंत्र हळूहळू वर येते, ज्यामुळे क्वार्ट्ज क्रूसिबल हळूहळू हीटिंग झोनमधून बाहेर पडते आणि सभोवतालच्या वातावरणासह उष्णता विनिमय तयार करते; त्याच वेळी, तळापासून वितळण्याचे तापमान कमी करण्यासाठी कूलिंग प्लेटमधून पाणी जाते आणि प्रथम तळाशी क्रिस्टलीय सिलिकॉन तयार होतो. वाढीच्या प्रक्रियेदरम्यान, क्रिस्टल वाढ पूर्ण होईपर्यंत घन-द्रव इंटरफेस नेहमी क्षैतिज समतल समांतर राहतो. या प्रक्रियेस सुमारे 20-22 तास लागतात.

5. एनीलिंग

क्रिस्टलची वाढ पूर्ण झाल्यानंतर, क्रिस्टलच्या तळाशी आणि वरच्या दरम्यान मोठ्या तापमानाच्या ग्रेडियंटमुळे, इनगॉटमध्ये थर्मल ताण असू शकतो, जो सिलिकॉन वेफर गरम करताना आणि बॅटरी तयार करताना पुन्हा तोडणे सोपे होते. . म्हणून, स्फटिकाची वाढ पूर्ण झाल्यानंतर, सिलिकॉन इनगॉटचे तापमान एकसमान होण्यासाठी आणि थर्मल ताण कमी करण्यासाठी सिलिकॉन इनगॉट वितळण्याच्या बिंदूजवळ 2-4 तास ठेवले जाते.

6. थंड करणे

सिलिकॉन इनगॉट भट्टीमध्ये ठेवल्यानंतर, हीटिंग पॉवर बंद करा, उष्णता इन्सुलेशन यंत्र वाढवा किंवा सिलिकॉन पिंड पूर्णपणे कमी करा आणि सिलिकॉन पिंडाचे तापमान हळूहळू कमी करण्यासाठी भट्टीत आर्गॉन वायूचा मोठा प्रवाह आणा. खोलीचे तापमान; त्याच वेळी, भट्टीतील वायूचा दाब वातावरणाच्या दाबापर्यंत पोहोचेपर्यंत हळूहळू वाढतो. या प्रक्रियेस सुमारे 10 तास लागतात.